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一种基于超声AFM闭环系统的可控深度表面缺陷加工方法
刘连庆; 李萌; 施佳林; 于鹏; 刘志华; 席宁
Department机器人学研究室
Rights Holder中国科学院沈阳自动化研究所
Patent Agent沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
Country中国
Subtype发明
Status公开
Abstract本发明通过获得加工深度与相位值的信息,最终实现纳米材料不同深度表面缺陷的精确加工。本发明涉及一种基于超声AFM闭环系统的可控深度表面缺陷加工方法。方法包括建立超声加工相位与施加机械力信号函数模型,代入相关加工参数获得机械力信号Z向初始值的范围;开环模式下获得实际相位差值‑机械力曲线及最优Z向初始值;结合AFM加工结果获得纳米材料不同加工深度的相位值;结合最优Z向初始值及预定深度的相位值,实现设定加工深度的闭环加工。通过本发明的这种方法,实现了最优化开环加工,并根据加工材料深度与相位的关系进行闭环反馈,最终实现纳米材料不同深度表面缺陷的精确加工,克服了传统AFM无法精确控制加工深度的缺点。
PCT Attributes
Application Date2018-02-09
2019-08-16
Application NumberCN201810131252.6
Open (Notice) NumberCN110134002A
Language中文
Contribution Rank1
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sia.cn/handle/173321/25601
Collection机器人学研究室
Affiliation中国科学院沈阳自动化研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
刘连庆,李萌,施佳林,等. 一种基于超声AFM闭环系统的可控深度表面缺陷加工方法[P]. 2019-08-16.
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