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基于纳米操作机器人的超声加工与检测协同设计研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2018
Authors:  施佳林
Adobe PDF(8782Kb)  |  Favorite  |  View/Download:81/12  |  Submit date:2018/06/16
纳米操作机器人  原子力显微镜  超声纳米加工  加工检测  纳米器件